磁致位移传感器可做成MEMS,磁致位移传感器原理

dfnjsfkhak时间2024-11-25 17:01:51分类位移传感器浏览2

导读：大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于磁致位移传感器可做成MEMS的问题，于是小编就整理了2个相关介绍磁致位移传感器可做成MEMS的解答，让我们一起看看吧。压力传感器工作原理是什么？什么是MEMS传感器？压力传感器工作原理是什么？压阻式压力传感器，顾名思义就是利用了压阻原理来实现压力监测的传感器……...

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于磁致位移传感器可做成MEMS的问题，于是小编就整理了2个相关介绍磁致位移传感器可做成MEMS的解答，让我们一起看看吧。

压力传感器工作原理是什么？
什么是MEMS传感器？

压力 传感器工作 原理是什么？

压阻式压力传感器，顾名思义就是利用了压阻原理来实现压力监测的传感器。目前主要是MEMS技术来实现。

单晶硅具有良好的压阻效应，因此目前的压阻式压力传感器是主要都是利用单晶硅的压阻效应而构成。***用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用MEMS工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生于被测压力成正比的变化，再由桥式电路获相应的电压输出信号。

（图片来源网络，侵删）

压力传感器工作原理 1 、应变片压力传感器原理力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。

电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上，当基体受力发生应力变化时，电阻应变片也一起产生形变，使应变片的阻值发生改变，从而使加在电阻上的电压发生变化。一般这种应变片都组成应变电桥，并通过后续的仪表放大器进行放大，再传输给处理电路(通常是A/D 转换和CPU )显示或执行机构。2 、陶瓷压力传感器原理陶瓷压力传感器压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥(闭桥)，由于压敏电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的电压信号。3 、扩散硅压力传感器原理工作原理：被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷)，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。4 、蓝宝石压力传感器利用应变电阻式工作原理，***用硅- 蓝宝石作为半导体敏感元件，具有良好的计量特性。5 、压电压力传感器原理压电传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英(二氧化硅)是一种天然晶体，压电效应就是在这种晶体中发现的，在一定的温度范围之内，压电性质一直存在，但温度超过这个范围之后，压电性质完全消失(这个高温就是所谓的 “居里点”)。由于随着应力的变化电场变化微小(也就说压电系数比较低)，所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。

什么是MEMS传感器？

MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。你可以把它理解为利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术。所以它是以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术平台。

MEMS传感器是***用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

（图片来源网络，侵删）

目前，中国MEMS产业尚处于起步阶段。目前，具有一定知名度和出货量的本土MEMS企业仍然屈指可数，逐鹿中国市场的主要竞争者仍以跨国企业为主。如今，我国MEMS传感器产品在精度和敏感度等性能指标上与国外存在巨大差距，应用范围也多局限于传统领域。中高档传感器产品绝大部分从国外进口，90%的芯片依赖国外。

2017年我国MEMS传感器的市场规模达到335亿元，已经成长为全球最大的几个MEMS传感器市场之一。

无论在全球还是我国，MEMS传感器的主要应用市场都是在汽车以及消费电子市场，其次在于医疗和工业。