转速表BA328B_转速表图片
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匀胶机的转速是多少?
旋转速度过高可能导致雷诺数大于302000,进入过度湍流状态,影响均匀性。例如,对于12inch晶圆(半径0.15m),确保均匀性所需的角速度w≤204,转化为转速N≤2000。其他尺寸晶圆的最高匀胶速度以此类推。匀胶时间不宜过长,以减少溶剂挥发对胶层均匀性与质量的影响。
第Ⅱ转速设为800转/m,设置完毕。第Ⅱ转速时间“P 82”参数设置值为15。最后再按“PRGM/RESET”键,显示至转速值“0.00”。
初始速度是基础。匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度,加速度和初始速度的关系初始速度是基础。
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