电容位移传感器设计原则,电容位移传感器设计原则是什么
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电容位移传感器最大能测多少位移?
以德国米铱的capaNCDT6530系列为例,绝对误差能够达到0.1微米,静态分辨率达到0.0375纳米,动态分辨率达到1个纳米。但是使用条件要特别注意,比较严苛。 电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所,高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。
电容传感器分为哪三类?
1.变极匝型电容式传感器
变极距型电容式传感器用一个固定极扳和一个可动极板构成:可动极板由被测金属平面充当。当电容式传感器极板间距因被测量变化而变化时.电容变化量为极距是时的初始电容量。
2.变面积(s)型电容式传感器
变四积型电容式传感器中.平板形结构对圾距变化特别敏感,测量精度受到影响,而圆柱形结构受权板径向变化的影响很小v成为实际应用中*常来只结构.其干线位移单组式的电容量在忽略边缘效应时为电容传感器的电容变化与线位移成正比。
3.变介电常数(e)型电容式传感器
变介电常数(c)型电容式传感器大多用来测量电介质的厚度、液位、还可根据极间介质
的介电常数随温度、湿度改变而改变来测量介质材料的温度、湿度等。若忽略边缘故应,表5—l中单组式平板形线位移传感器的电容量与介质线位移的关系为固定极板的长度和宽度及被测物进入两极板间的长度。
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